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氦质普检漏仪检漏原理:

氦质谱检漏是在质谱室中将气体电离，利用不同荷质比的离子具有不同电磁特性的特点而将示踪气体分离,检测并加以显示的新技术。

真空查漏方法及步骤:

1) 测点布置：检测真空系统设备时将仪器吸枪布置在真空泵排大气管口处。

2) 校准仪表：检测前、仪器校准，使仪器归零，否则测试无效。

3) 检漏漏点：架设好仪器.然后在真空系统可能存在漏点位置逐一喷射氦气，根据仪器的变化情况分析判断漏点的大小，工作人员进行逐一记录。

真空查漏气压法：将试验气体（空气或其他气体）压入被检容器，在外面检查有无气体逸出，具体方法有：声响、火焰、气泡指示法（水槽法、皂膜法）；氨检漏法；卤素检漏仪和氨质谱仪吸嘴法和fang射性同位素法。其中卤素检漏法是，金属铂在高温（常用850～950℃）下产生正离子发射（主要是碱金属离子），这种发射遇到卤素气体时急剧增加，依据这个现象可以制成一种检漏仪器，即卤素检漏仪。

真空查漏安全关键点：

高空作业时应系好安全带，防止高出作业伤人。

氦质谱检漏仪接线正确、电源线无破皮、损坏现象，有良好的接地装置。

工作时工作人员应穿戴好劳动保护用品，工作人员禁止直接用手直接触摸高温高     压管道，防止tang伤。

真空查漏一般步骤为：先进入凝汽器人孔门将探测头对着管板中间偏下位置，离管板约50 mm，调节灵敏度数字按钮，使检漏仪声音指示值刚好为0，然后，以此灵敏度为基准进行管板扫描。当发现某区域有声音超基准时，即为泄漏管。