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关于PECVD石墨舟工序标准物质的使用?

关于标准物质，大家都知道在计量时是做标准件使用的，石墨舟本文中讲到的标准物质将这一标准物质进行了详细化。

例如在PECVD工序主要操作是使用机器手进行工作，因此所提及的标准物质为标准机械手、标准石墨舟及标准上料小车三部分。

众所周知，机械手会有相应的准确度，在使用一段时间后，会由于使用的原因会造成一定的偏差，因此会造成在上料过程中夹石墨舟会倾斜，造成摔片现象。因此需要对机械手进行定期的校正，但是由于技术方面的问题，我们不能总是去调整机械手，所以我们将问题转向方便调整的石墨舟及上料小车上。

深圳市石金科技股份有限公司专门为模具行业、机械行业、真空热处理炉、电子半导体及太阳能光伏产业等提供石墨材料、石墨电极和相关的石墨制品，太阳能电池工艺设备的石墨舟及配件、C/C复合材料和保温隔热用石墨毡和软毡等多产品。

国产石墨舟的生产技术水平已经达到甚至超过进口坩埚，PERC电池石墨舟生产厂家，优质的国产坩埚具有以下特点：

1、石墨舟高的密度使得坩埚具备了z好的导热性能，其导热效果明显优于其他进口坩埚；

2、石墨舟外表有特别制作的釉层和致密的成型材料，大大提高了产品的耐腐蚀性能，延长其使用寿命；

3、石墨舟中的石墨成分全部采用天然石墨，PERC电池石墨舟，导热性非常好。石墨舟加热后不可立刻将其置于冷的金属桌面上，以避免它因急剧冷却而断裂。

168变196片，舟片间距肯定是要变化的，PERC电池石墨舟厂家生产，否则舟片间的电场强度就会降低很多。石墨舟的舟片间距和数量是对镀膜至关重要，增加了舟片就要相应的减少片间距，PERC电池石墨舟厂家，并增大射频电源的功率。你做168片的时候射频功率是2500W，建议做196提高到3000瓦试试。并且你的问题片只出现在中间靠近射频电源的地方很大的可能是石墨舟的问题，你的石墨舟电极突出一小部分这样会使电极和舟片间的电离强度增大，减小了这2片舟片间的沉积效果。电极隔块上的花纹就是放电沉积的结果，可以加的工艺气体流量看看是否有改善。设备应该是不存在什么问题的。

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