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真空电镀机操作指令---抽气-抽气系统机组的工作:

　　1. 提前1小时将扩散泵加热，此时用机械泵工作，下级阀打开.

　　2. 机械泵抽气:达到加热温度，先关下闭阀门(加热不停止)打开上阀，对真空容器粗抽.

　　3. 罗茨泵抽气:当真空度到达730mmHG(即负压730mmHG)后方可启动罗茨泵，注意不得任意提前启动罗茨泵，以免过载造成损坏，五金真空电镀，罗茨泵工作后应观察热偶计真空规来了解真空度﹒

　　4. 扩散泵抽气﹕当真空所指真空度到达2°t时，遂宁真空电镀，先打开下阀，当真空所指真空度到达3°t时，打开主阀关上阀，使扩散泵对真空室抽气.

　　5. 当指针到达7×10-2pa或以上数据可进行蒸镀工作，若继续抽气时，真空度将不断升高.

真空电镀电源特点：

1．真空电镀电源采用先进的开关电源技术，体积小、效率高、运行稳定、噪声低、对电网干扰小，在节能和镀膜工艺的稳定性上比传统电源有明显的优势。

2．采用先进的DSP控制系统，真空电镀电源具备自动稳流/稳压功能，不随气压变化，充分保证镀膜工艺的重复性，真空电镀设备，控制膜厚和减少靶材用量。

3．抑制靶材弧光放电及抗短路功能。具有极佳的负载匹配能力，既保证了靶面清洗工艺的稳定性，又提高了靶面清洗速度。

4．具有电压陡降特性，可充分满足磁控溅射的特殊要求。

5．主要参数均可大范围连续调节。

6.可N+1并联，实现大功率输出，方便维护，可靠性高。

7．PLC接口功能，方便实现自动化控制。

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