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双频激光干涉测角
当双角锥棱镜组在移动过程中没有发生摆动时,两束光的多1普勒频差不变,拍频不变。如果,移动过程中双角锥棱镜组发生摆动,则相当于两个角锥棱镜的移动不一致,出现距离差。根据线度角度的几何关系,可以测出摆角的大小。由上述原理构成的SJD型双频激光干涉仪用于测量角度时,其分度值为0.1″,当测量范围为±100″时,测量精度为0.5″
激光干涉仪的的使用注意事项:
1、仪器应放置在干燥、清洁以及无振动的环境中应用。
2、在移动仪器时,为防止导轨变形,应托住底座再进行移动。
3、仪器的光学零件在不用时,应在清洁干燥的器皿中进行存放,供应双频激光干涉仪,以防止发霉。
4、尽量不要去擦拭仪器的反光镜、分光镜等,如必须擦拭则应当小心擦拭,利用科学的方法进行清洁。
5、导轨、丝杆、螺母与轴孔部分等传动部件,应当保持良好的润滑。因此必要时要使用精密仪表油润滑。
激光干涉仪简介
激光干涉仪以光波为载体,具有测量精度高、测量速度快、测量范围大、最1高测速下分辨率高等特点,其光波波长可直接对米进行定义并溯源至国家标准。因此,激光干涉仪广泛应用于数控机床、PCB钻孔机、坐标测量机、位移传感器等精密仪器的质量控制与校准以及科研开发、高1端设备制造等领域。
激光干涉仪的用途
激光干涉仪结合不同的光学镜组,可实现线性测长、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度等几何参量的高精度测量。
在动态测量软件的配合下,激光干涉仪可实现线性位移、角度和直线度的动态测量与性能检测,以及进行位移、速度、加速度、振幅与频率的动态分析。