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光刻胶运输标识及注意事项
标签上标明的意思
R标识
R10 YI燃。
S标识
S16 远离火源-禁止吸烟。
S 24 避免接触皮肤。
S 33对静电放电采取预防措施。
S 9 将容器保持在通风良好的地方。
水生毒性
通过自然环境中的化学、光化学和微生物降解来分解。一般不通过水解降解。300 ppm对水生生物是安全的。卤化反应可能发生在水环境中。
9,去胶:湿法去胶,用溶剂、用NONG硫酸。负胶,98%H2SO4+H2O2+胶=CO+CO2+H2O,正胶:BIN酮,光刻胶 厂家,干法去胶(ash)氧气加热去胶O2+胶=CO+CO2+H2O,光刻胶价格,等离子去胶Oxygenplasma ashing,高频电场O2---电离O- + O+, O+活性基与胶反应CO2,CO, H2O,光刻胶, 光刻检验
正胶PR1-2000A1技术资料
正胶PR1-2000A1是为曝光波长为365 或者436纳米,可用于晶圆步进器、扫描投影对准器、近程打印机和接触式打印机等工具。PR1-2000A1可以满足对附着能力较高的要求,在使用PR1-2000A1时一般不需要增粘剂,光刻胶工艺,如HMDS。
相对于其他的光刻胶,PR1-2000A1有如下的一些额外的优势:
PEB,不需要后烘的步骤;
较高的分别率;
快速显影;
较强的线宽控制;
蚀刻后去胶效果好;
在室温下有效期长达2年。