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光刻胶稳定性
化学稳定性:在正常储存和操作条件下,光刻胶价格,在密闭容器中室温稳定。
避免的条件: 火源、湿气、过热的环境。
不相容的其他材料: 强氧化剂。
光刻胶毒理资料
淡黄色液体,气味微弱。引起皮肤、眼睛、粘膜和呼吸道的刺激。可以通过皮肤吸收而引起全身性的症状。液体是可燃的。
毒性数据
皮肤:可以通过皮肤吸收而引起全身性的症状,类似于吸入。长时间或重复接触可引起轻度至中度的刺激或皮炎。
眼睛:引起眼睛发炎。
吸入:吸入时可能有害。引起呼吸道刺激。蒸气可能导致困倦和头晕。
摄食:吞食有害。
延迟效应:肝和肾损害,以及动物实验中有报道血液和GU髓有影响。
PR1-2000A1 试验操作流程
PR1-2000A1的厚度范围可以做到 1500到3500nm,如下以膜厚2900nm为列;
1,光刻胶,静态滴胶后以1300转/分速度持续40秒。同时必须需要在1秒内达到从0转/分到1300转/分的升速度;
2,前烘:热板120度120秒;
3,光刻胶显影,冷却至室温;
4,用波长为365,406,436的波长曝光,
5,在温度为20-25度,光刻胶美国,使用RD6浸泡式、喷雾、显影 ;
6,去除光刻胶,可使用CH3COCH3,RR5,RR41等。